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主动消振系统
名称： 主动消振系统
型号： Stage-base 450
品牌： TMC
概述
TMC继续在**技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的**半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要**有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以**限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供****的主动振动和运动消除系统。
Stage-Base 450优势
Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的**低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。
Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了**的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内**地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。
规格
? 采用独特的STACIS®技术
? 采用高力、加长行程的压电致动器
? 有效载荷的位置可重复性在微米以内
? 框架安装设计
? 6个主动自由度
? 可选的VCM前馈和/或反馈
? 始于0.6 Hz的主动隔振
? 响应平台运动的快速稳定时间
? 无软空气悬架
? 通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器
? 简单、坚固且经济高效
性能
应用照片
备案号：京ICP备13029673号-1 京公网安备11010802012682
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