SEM主动隔振平台SEM-ba<x>se VI

名称： SEM主动隔振平台SEM-ba<x>se VI

型号： SEM-base VI

品牌： TMC

详细信息

概述

SEM-Base® VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和**图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具***规格所需的地面振动水平。

SEM-Base VI采用独特的“串行结构”，其中的振动传感器测量地面振动，而不是有效载荷振动。与其他设计不同，这确保了有效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器，在难以测量的亚Hz范围内具有**灵敏度。结合大家独特的压电致动器技术，SEM-Base VI即使在安静的地面上也能实现**的消振水平。

SEM-Base VI可提供与以前型号平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的双核处理器，为工具所有者和研究人员提供了一个非常简单易用的图形界面，可实现快速系统评估和安全操作。通过以太网连接时，DC-2020将在用户的浏览器中创建SEM-Base GUI，无需安装其他App或应用程序。此外，用户也可以通过板载菜单驱动的液晶显示器（LCD）与控制器连接。

注意：请参见SEM-Closure，这是一种专为保护SEM而设计的整体环境解决方案。它可以将SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一个密封和温控声学室中 - 从而保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声的影响。

SEM-Base VI的优势

硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容，可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。

主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。

采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和专有的高力压电技术可实现0.6 Hz***150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的**惯性主动振动消除性能。

**集成式的单平台设计 - SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化到了**，简单的定位与设置之后即可正常工作。

NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响。

产品特点

? STACIS**技术

? 主动惯性振动清除系统

? 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM

? 负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)

? 隔振效率1Hz:40-70%

? 隔振效率经2Hi:90%

? 隔振效率＞3Hz:90-98%

? 6个主动自由度

? 安装容易，调试简单

? 兼容所有设备内直的振动隔离系统

? 电源：100-240VAC, 50/60Hz, <600W

? 是否需要空气：非气浮系统

? CE与RoHS认证

? **集成式的单平台设计

? 可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运

? 兼容SEM-lift系统

规格

性能规格

主动自由度	6
主动带宽	0.6 Hz - 100 Hz
被动固有频率	标称值为12 Hz
有效的主动共振频率	0.5 Hz
1 Hz时的隔振	40% - 70%
2 Hz时的隔振	90%
≥3 Hz时的隔振	90 - 98%
内部噪音	<0.1 nm RMSd>
工作负载范围	标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）
磁场发射4英寸（102毫米）处距离平台	<0.02 μG broadband RMSd>

设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全	符合CE和RoHS标准
主动隔振元件	**小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直实行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件	单个硬弹性体（无需压缩空气源）
振动传感器元件	向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路	在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面
尺寸（宽 x 深）	35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米
高度	标称6.3英寸（160毫米）， SEM-Base关闭时不会改变
工作温度	50° - 90° F 10° - 32° C
储存温度	-40° - 130° F -40° - 55° C
湿度	30 - 60%
系统电源要求	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE标准
地面位移	<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

内置控制器规格

处理器	150/75 MHz双核
采样率	10 kHz
模拟输出	16个通道
模拟输入	16个通道
状态灯	单个LED
前面板端口	1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC
用户界面	前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于微软 Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI